實(shí)驗(yàn)室氣體管路設(shè)備按用途有以下幾種部分。
前端部分:
包含GC特氣柜、GR氣瓶架、Scrubber廢氣處理柜、空壓機(jī)、真空泵、制氮機(jī)等設(shè)備。是整套實(shí)驗(yàn)室配氣裝置(系統(tǒng))的核心與基礎(chǔ)部分,也是氣體最集中的部分,因此,對于這部分,國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)對場所、環(huán)境是有所要求的。
二次配部分:
包含VMB閥門分配箱、VMP閥門分配板等這些設(shè)備。
整體監(jiān)控報(bào)警部分:
包含氣體泄漏偵測器、控制箱、操作監(jiān)控臺(tái)、監(jiān)控屏等設(shè)備,用于監(jiān)督控制氣體的壓力、流量、溫度以及泄漏情況,同時(shí)兼顧監(jiān)控環(huán)境。