生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的無塵室又稱無塵車間,即在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物,控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和空氣質(zhì)量。實驗室凈化無菌試驗室-潔凈實驗室-生物安全實驗室的建設(shè)方案包括:建筑布局和裝修、空氣調(diào)節(jié)、給排水、氣體供應(yīng)、電氣設(shè)計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓(xùn)等多方面內(nèi)容。氣流分布、噪聲、振動、照明和靜電在一定要求下。在此范圍內(nèi),提供一個專門設(shè)計的房間。也就是說,無論外部空氣條件如何變化,室內(nèi)空氣都能保持原有設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度和壓力。精密電子產(chǎn)品主要在無塵車間(含無塵車間)生產(chǎn)。
無塵車間主要用于電子、半導(dǎo)體、食品、印刷、包裝等行業(yè)。隨著社會的發(fā)展,越來越多的行業(yè)也需要無塵車間凈化工程。生產(chǎn)過程的需要與生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)環(huán)境密切相關(guān)。
在電子生產(chǎn)車間,隨著人們進(jìn)出,他們經(jīng)常帶來大量的灰塵顆粒,而高精度的電子元件具有極高的環(huán)境要求,并且經(jīng)常遵循所生產(chǎn)的電子元件的質(zhì)量??諝庵袘腋〉膲m埃顆粒有很大關(guān)系,因此在電子生產(chǎn)車間,通常需要建立一個無塵車間,以確??諝庵袘腋☆w粒的數(shù)量,以確保電子元件的高質(zhì)量,以及潔凈室設(shè)備中的負(fù)離子凈化??諝庀到y(tǒng)降低了空氣中懸浮顆粒的濃度,使電子生產(chǎn)環(huán)境更加清潔。
電子制造業(yè)10000無塵車間特點:
清潔度等級高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備廢氣根據(jù)需要控制,照度、潔凈室橫截面風(fēng)速根據(jù)設(shè)計或規(guī)范進(jìn)行控制,此外,這種潔凈室對靜電的要求非常嚴(yán)格。其中,對濕度的要求特別嚴(yán)重。因為太干燥的設(shè)備容易產(chǎn)生靜電,導(dǎo)致CMOS集成損壞。一般來說,電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50%~60%(特殊無塵車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定)。此時,可以有效地消除靜電,使人們感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室、磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于在電子產(chǎn)品制造和生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量的嚴(yán)格要求,主要目的是控制顆粒和浮塵。同時,嚴(yán)格規(guī)定了環(huán)境的溫濕度、新風(fēng)風(fēng)量和噪聲。
●電子制造商10,000級潔凈室的噪音水平(空狀態(tài)):不應(yīng)超過65dB(A)
垂直流潔凈室全覆蓋率不低于60%,水平單向流潔凈室全覆蓋率不低于40%。否則,會發(fā)生局部單向流。
潔凈室與室外的靜壓差不得小于10 pa,不同空氣清潔度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不得小于5 pa。
●電子制造業(yè)10,000級潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)為以下兩項中的最大值。
補(bǔ)償維持室內(nèi)正壓所需的室內(nèi)排氣和新鮮空氣之和。