無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀發(fā)展迅速,目前廣泛用于地質(zhì)學(xué)、礦物學(xué)、地球化學(xué)、核工業(yè)、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、醫(yī)學(xué)衛(wèi)生、食品化學(xué)、石油化工、公安系統(tǒng)、考古、空間技術(shù)等領(lǐng)域的分析測(cè)試。但是由于無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀很多測(cè)試樣品含量都在超痕量甚至更低,所以對(duì)環(huán)境要求就非常高,要求整個(gè)分析過(guò)程流程中都保持非常高的潔凈環(huán)境,所以在部分ICP-MS、高分辨質(zhì)譜以及同位素質(zhì)譜儀的實(shí)驗(yàn)室都需要為儀器量身定做潔凈實(shí)驗(yàn)室。